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中國電鍍網訊：現場您可了解更多有關MEMS應用以及系統信息。
時間：2016年1月24日-28日
地點：上海國際會議中心(濱江大道2727號)
展位號：27
結合硅基微電子學和微機械加工科技，MEMS技術和基于微系統技術的設備正改善著我們的生活和居住方式。數以百萬計的MEMS器件如今已被應用于我們日用品中。
采用深硅刻蝕，低溫刻蝕，Bosch和原子層沉積等技術，牛津儀器研發了一系列靈活易用品質上乘的系統設備，并推進MEMS技術的革新。
牛津儀器將繼續以支持中國科學研究發展為己任，為中國廣大科研人員提供高性能、高可靠性的等離子體設備、原子層沉積設備等;同時牛津儀器的服務團隊也可以為用戶提供系列服務套餐，包括配件和耗材、延保合同、產品培訓、服務維修和技術支持等。
更多等離子體設備信息，請訪問：
www.oxford-instruments.cn/plasma
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